用于极紫外光波长范围之反射镜、包含此反射镜之用于微影的投影物镜、以及包含此投影物镜之用于微影的投影曝光装置

主权项

一种反射镜，包含：一层配置，施加在一基板上且用于极紫外光波长范围，该层配置包含：形成一周期性序列的至少二周期，其中该周期性序列的各该周期是由以下所组成：一矽层、一钌层与由B4C构成之具有厚度大于0.35nm且位在该矽层与该钌层之间的至少一障壁层；以及由B4C构成之具有厚度大于0.35nm且位在该至少二周期之间的至少一障壁层。