| 摘要 |
<p>半透明導波路電磁波プラズマ光源は石英からなる加工品１を備え、内部密閉空洞の封体２には外径８ｍｍ、内径４ｍｍの引き抜き管が形成される。マイクロ波励起プラズマ材料は封体の内側で封止される。外端部４は、エンドプレート５から、約１０．５ｍｍ突き出る。封体の全長はおおよそ２０．５ｍｍである。空洞が形成される管７１は、空洞の封体の内端部から後方にアンテナシース７２として続いている。２ｍｍの厚みを有するエンドプレート５は円形で、その中にあるボアに、封体２が封止される。同じようなプレート６が１０ｍｍ離れて配置され、およそ２ｍｍの僅かな間隙が封体の内端部と内側プレート６の間に存在する。アンテナシース７２は内側プレート６に融着され、該プレート内部の開口部７３によって、アンテナがシースへと挿入可能となっている。両プレートとも直径３４ｍｍで、石英引き抜き管７の中で封止される。石英引き抜き管７は３８ｍｍの外径を有し、２ｍｍの厚みを有する。外管７の外端部１０は、外側エンドプレート５と同一平面となり、外管の内端部は裾部９として内側プレート６の後側表面から後方に１７．５ｍｍ延びる。この構造は、中に空間７４を有し、アンテナシース７２へと延びる裾状の凹部１３を備える。裾状の凹部にはアルミナからなるブロック１４が収容される。その外径は３３．９ｍｍで、１７．７ｍｍ厚である。直円柱筒状ブロック１４は、直径２ｍｍのボア１５を有する。アンテナ１８は、ボア１５に収納され、アンテナシース７２へと延びるだけの長さを持つ。【選択図】図２</p> |
