CHEMISCH-MECHANISCHES POLIERKISSEN MIT POLIERSCHICHT UND FENSTER

摘要

Es wird ein chemisch-mechanisches Polierkissen bereitgestellt, das eine Polierschicht und ein Endpunkterfassungsfenster, das in das chemisch-mechanische Polierkissen einbezogen ist, aufweist, wobei das Endpunkterfassungsfenster ein eingesetztes Fenster ist, wobei das Endpunkterfassungsfenster ein Reaktionsprodukt von Bestandteilen umfasst, umfassend: ein Fenster-Vorpolymer und ein Fenster-Härtungsmittelsystem, umfassend: mindestens 5 Gew.-% eines difunktionellen Fenster-Härtungsmittels, mindestens 5 Gew.-% eines Amin-initiierten Polyol-Härtungsmittels für das Fenster und 25 bis 90 Gew.-% eines Polyol-Härtungsmittels mit hohem Molekulargewicht für das Fenster.