| 主权项 |
一种缺陷解析装置，其特征在于包括：分割部，其接收将半导体记忆体之每个单元之良好/缺陷资讯依照与上述记忆体单元之实体配置对应的实体位址顺序排列而成的错误位元映像，并将上述错误位元映像针对每层进行分割；分类部，其进行与各层对应之错误位元映像中之缺陷类型之分类；记忆部，其储存将不同层之缺陷单元组合为同一缺陷类型之规则；及判定部，其判定上述分类部之分类结果是否符合上述规则，并将符合之分类结果群组化；且上述规则包含基点缺陷、上述基点缺陷之组合对象之关联缺陷、规定上述基点缺陷与上述关联缺陷之关系之组合条件、及组合缺陷名称；上述判定部系自1个层之上述分类结果中提取上述基点缺陷，并自其他层之上述分类结果中提取符合上述组合条件之上述关联缺陷，而将所提取之上述基点缺陷及上述关联缺陷群组化并赋予上述组合缺陷名称。 |
