| 摘要 |
<p>【課題】真空チャンバの防振用に構成された装置を提供する。【解決手段】装置１００は、ベース装置１１０、１以上の第１可撓性真空ライン１２０、接続装置１３０、及び１以上の第２可撓性真空ライン１４０を含む。ベース装置１１０は、第１面１１２と第２面１１４を有し、第１面１１２及び第２面１１４は、ベース装置１１０の対向する面である。第１可撓性真空ライン１２０は、ベース装置１１０の第１面１１２に接続された第１端部及び真空チャンバ１０に接続可能な第２端部を有する。接続装置１３０は、真空チャンバ１０に接続可能であり、接続装置１３０は、ベース装置１１０に対して移動可能に構成される。第２可撓性真空ライン１４０は、ベース装置１１０の第２面に接続された第１端部と接続装置１３０に接続された第２端部を有する。【選択図】図１</p> |
