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특정 구조의 화합물을 함유함으로써 효율적으로 염기를 발생하고, 특히 광 경화성 조성물로서 사용한 경우, 감도, 반응 콘트라스트 및 현상성이 우수하고, 형성된 경화막의 잔막률, 내용제성 및 열 안정성이 우수하고, 또한 레지스트 조성물로서 사용한 경우, 해상력, LER 성능, 형성된 패턴의 형상 및 스컴 성능이 우수한 감광성 조성물을 제공한다. 하기 일반식(I)으로 나타내어지는 화합물을 함유하는 감광성 조성물.[일반식(I) 중 Y는 1가의 유기기를 나타낸다. R은 1가의 유기기를 나타낸다. R및 R는 각각 독립적으로 수소 원자, 알킬기, 시클로알킬기, 아릴기, 또는 헤테로 아릴기를 나타낸다. R및 R는 서로 결합해서 질소 함유 복소환기를 형성해도 좋다] |
