| 主权项 |
一种基板之制造方法，其特征系含有：(a)在支持体涂布含有具有下述式(1)表示之构造单位的聚醯胺酸与有机溶剂的聚醯亚胺系膜形成用组成物，经乾燥形成含有聚醯胺酸之涂膜的步骤、(b)将前述含有聚醯胺酸之涂膜加热，得到聚醯亚胺系膜的步骤、(c)在前述聚醯亚胺系膜上形成元件的步骤、(d)将前述形成元件之聚醯亚胺系膜由支持体上剥离的步骤，
(式(1)中，复数之R1系各自独立为碳数1~20之1价有机基，n系1~200之整数)前述构成聚醯亚胺系膜之聚醯亚胺，以差示扫描热量测定(DSC、昇温速度20℃/分钟)测定的玻璃转化温度为超过350℃。 |
