狭缝喷嘴清扫装置及涂布装置

主权项

一种狭缝喷嘴清扫装置，用以清扫涂布处理中所使用之长条型狭缝喷嘴的狭缝内，其特征在于包含：薄板状刮出构件，可自外部朝该狭缝喷嘴的狭缝内插拔；及清扫机构，固持该刮出构件，将该刮出构件插入该狭缝喷嘴的狭缝内，令该刮出构件沿既定方向移动，俾于该狭缝内刮出固化物，自该狭缝撤出该刮出构件；且该清扫机构包含：固持部，固持该刮出构件基端部；第1移动机构，用以使该刮出构件与该固持部一体沿该狭缝喷嘴的喷吐方向移动；第2移动机构，用以使该刮出构件与该固持部一体沿该狭缝喷嘴的长边方向移动；及第3移动机构，用以使该刮出构件绕着设于该固持部，沿与该狭缝喷嘴的喷吐方向或长边方向中任一者皆直交之方向延伸之枢轴转动；且使用该第1、第2及第3移动机构进行将该刮出构件插入该狭缝喷嘴的狭缝内之动作，使用该第1及第2移动机构进行该狭缝喷嘴的狭缝内之刮出动作，使用该第1移动机构进行自该狭缝喷嘴狭缝抽出该刮出构件之动作。