发明名称 |
半导体装置之制造方法及半导体装置 |
摘要 |
于一实施形态之半导体装置之制造方法中,准备引线框架,其系以使于邻接之器件区域之间连结之第1引脚与第2引脚各自之下表面连通之方式形成有槽部。其次,于使用第1刀片切削上述第1及第2引脚之连结部之一部分后,除去形成于上述槽部内之金属屑。接着,于除去上述金属层后以电镀法于上述第1及第2引脚之露出面形成金属膜后,使用第2刀片切断第1及第2引脚之连结部之剩余部分。此时,系以上述第2刀片不与上述槽部接触之方式进行切断。 |
申请公布号 |
TW201537712 |
申请公布日期 |
2015.10.01 |
申请号 |
TW104102919 |
申请日期 |
2015.01.28 |
申请人 |
瑞萨电子股份有限公司 RENESAS ELECTRONICS CORPORATION |
发明人 |
牧野耕丈 MAKINO, YASUTOMO |
分类号 |
H01L23/495(2006.01);H01L21/58(2006.01) |
主分类号 |
H01L23/495(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
主权项 |
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地址 |
日本 JP |