| 摘要 |
本发明的资讯处理装置、资讯处理方法及记录媒体，系可高精度取得显示在电子束描绘装置描绘的图形的轮廓线上之3个以上的点的资讯，该资讯处理装置包括：受理部，受理显示图案图形的资讯的图案资讯与利用拍摄电子束描绘装置描绘的图形的影像来取得的实际观测轮廓线资讯；变换资讯取得部，取得将对图案资讯显示的图案图形所示区域内之任意的点扩展函数的3个以上各校正轮廓点的卷积值与关于卷积值的临界值之间的差的平方和进行最小化的资讯，即变换资讯；校正轮廓点取得部，利用变换资讯取得显示与3个以上各实际观测轮廓点对应之3个以上校正轮廓点的资讯的校正轮廓点资讯；及输出部，输出校正轮廓点资讯。利用该资讯处理装置能够高精度取得显示在电子束描绘装置描绘的图形的轮廓线上之3个以上的点的资讯。 |
