发明名称 具有排水结构之极紫外光光罩储存传送盒
摘要
申请公布号 TWI501910 申请公布日期 2015.10.01
申请号 TW100142147 申请日期 2011.11.17
申请人 家登精密工业股份有限公司 发明人 古震维;吕保仪;林志铭;盛剑平
分类号 B65D85/90 主分类号 B65D85/90
代理机构 代理人 蔡秀玫 新北市土城区金城路2段211号4楼A1室
主权项 一种光罩盒,系将一光罩固定于一内盒中且该内盒容置于一外盒中,该外盒包括:一外盒下盖,具有一第一内表面,且该第一内表面上形成有复数个第一支撑件;一外盒上盖,具有一第二内表面,且该第二内表面上形成有复数个第二支撑件,且于该外盒下盖与该外盒上盖盖合时,该第一内表面与该第二内表面形成一第一容置空间以容置该内盒;及该内盒包括:一内盒下盖,配置于该第一容置空间内并与该复数个第一支撑件接触,且该内盒下盖具有一内盒第一内表面;及一内盒上盖,位于该第一容置空间内,其具有一内盒第二内表面及相对于该第二内表面另一侧之一内盒上盖外表面,且于该内盒下盖与该内盒上盖盖合时,该内盒第一内表面与该内盒第二内表面形成一第二容置空间以容置该光罩;复数个贯穿孔,形成在该内盒上盖之该第二内表面及该外表面之间,且于每一该贯穿孔周围形成一O型凹槽以围绕该贯穿孔,并于该O型凹槽中配置一弹性元件;及复数个固持件,配置于每一该贯穿孔中,其位置是与该外盒上盖之每一该第二支撑件相对应,该固持件系由一支撑凸柱与一个相应配置于该O型凹槽中的O型凸部所形成,而该支撑凸柱的长度是大于该O型凸部且该支撑凸柱与该O型凸部为一体成型之结构,其中,该O型凸部位于该O型凹槽中且该O型凸部与该弹性元件接触;其中,该光罩盒的特征在于:在该外盒下盖之四周边上配置复数个排水孔。
地址 新北市土城区中央路4段2号9楼