| 发明名称 |
光学距離測定システムを備えるマイクロリソグラフィー用の投影露光装置 |
| 摘要 |
マイクロリソグラフィー用の投影露光装置は、露光ビーム路を形成する複数の光学素子（Ｍ１−Ｍ６）と、少なくとも１つの光学素子（Ｍ１−Ｍ６）と、基準素子（４０，１４０，２４０）との間の距離を測定する距離測定システム（３０，１３０，２３０）と、を備える。距離測定システムは、周波数コム発生器（３２，１３２，２３２）を備え、周波数コム発生器（３２，１３２，２３２）は、コム状の周波数スペクトルで電磁放射を発生させるよう構成される。【選択図】図１ |
| 申请公布号 |
JP2015528924(A) |
申请公布日期 |
2015.10.01 |
| 申请号 |
JP20150521990 |
申请日期 |
2013.07.12 |
| 申请人 |
カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー |
发明人 |
アレクサンダー ヴォルフ;マルクス シュワブ;トラルフ グルーナー;ヨアヒム ハルトイェーズ |
| 分类号 |
G03F7/20;G01B9/02;G01C3/06 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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