用于电子装置之热处理的设备与技术;APPARATUS AND TECHNIQUES FOR THERMAL TREATMENT OF ELECTRONIC DEVICES

摘要

本文描述供使用于产制诸如可以包含有机发光二极体(OLED)装置之电子装置的设备与技术。此等设备与技术可以包含使用具有一受控环境的一或多个模组。例如，一基板可以接收自位于一第一处理环境中之一印刷系统，且该基板可以被提供至一第二处理环境，诸如被提供至包含一受控第二处理环境之一封闭热处理模组。该第二处理环境可以包含具有之成分不同于该第一处理环境之一净化气体环境。