位置偏移检测方法、位置偏移检测装置、描绘装置及基板检查装置;DISPLACEMENT DETECTION METHOD, DISPLACEMENT DETECTION APPARATUS, DRAWING APPARATUS AND SUBSTRATE INSPECTION APPARATUS

摘要

本发明系一种位置偏移检测技术，以及利用该位置偏移检测技术进行高精度之描绘处理及准确之基板检查，该位置偏移检测技术可准确地求出以设置于外周部之缺口部朝向基准方向之方式定位的基板之表面相对于基准方向之旋转位置偏移量。;该位置偏移检测技术包含：第1步骤，获取基板表面之部分图像；第2步骤，获取部分图像中所包含之复数个图案；第3步骤，自复数个图案选定复数个图案对，并求出复数个图案对中图案间之距离互为相等之复数个等间距对；第4步骤，针对每一等间距对，基于构成该等间距对之2个图案之位置资讯而求出2个图案相对于基准方向的旋转角；及第5步骤，自于第4步骤中求出之复数个旋转角而求出旋转位置偏移量。