资料补正装置，描绘装置，资料补正方法及描绘方法;DATA CORRECTION APPARATUS, DRAWING APPARATUS, DATA CORRECTION METHOD, AND DRAWING METHOD

摘要

在描绘装置中，取得基板上之复数个记号即记号集合之测量位置。接着，根据除去自记号集合所被选择之注目记号群以外之剩余记号群之测量位置及设计位置，利用复数个补正模式分别对注目记号群之设计位置进行补正，而取得藉由各补正模式所进行补正之注目记号群之补正位置。然后，针对于各补正模式，求出将注目记号群之补正位置之从测量位置之偏差加以显示之记号评价值。接着，关于各补正模式，根据针对各注目记号群而所求出之记号评价值，求出将补正模式之补正精度加以显示之补正模式评价值。然后，对复数个补正模式之补正模式评价值进行比较，选择补正精度为最高之补正模式，利用所被选择之补正模式对描绘资料进行补正。在描绘装置中，能够自复数个补正模式中自动地选择适当之补正模式。