| 摘要 |
대략 193.4nm의 출력 파장을 발생시키는 레이저가, 기본파 레이저, 광학 파라메트릭 발생기, 제 4 고조파 발생기, 및 주파수 혼합 모듈을 포함한다. 기본파 레이저에 커플링되는 광학 파라메트릭 발생기는 하향 변환된 신호를 발생시킬 수 있다. 광학 파라메트릭 발생기 또는 기본파 레이저에 커플링될 수도 있는 제 4 고조파 발생기는 제 4 고조파를 발생시킬 수 있다. 광학 파라메트릭 발생기 및 제 4 고조파 발생기에 커플링되는 주파수 혼합 모듈은, 제 4 고조파와 하향 변환된 신호의 주파수의 2 배의 합과 동일한 주파수에서 레이저 출력을 발생시킬 수 있다. |
