| 摘要 |
<p>롤러 장치(300)는, 회전 가능하며, 외주면(25a)에 있어서 외측으로부터 내측을 향해 흡인력이 작용하는 석션 롤러(25, suction roller)와, 상기 흡인력을 발생하는 흡인 기구(機構)(65)와, 상기 석션 롤러(25)의 외주면(25a)을 덮는 가스 투과성 부재(81)를 구비한다. 가스 투과성 부재(81) 및 석션 롤러(25)를 구비함으로써, 피처리물을 가스 투과성 부재(81)로 가압하면서 피처리물로부터 수분 가스를 균일하게 추출할 수 있다. 본 발명의 롤러 장치(300)를 사용함으로써, 광의 회절이나 산란에 사용되는 요철 구조를 가지는 부재를 양호한 수율로 높은 스루풋(throughput)으로 제조할 수 있다.</p> |
