| 摘要 |
本发明系有关一种特别用于沈积有机层于基板上之装置及一种用于混合气体之装置，包括：数个与共用的收集室(1)连通的输入管道(2至5)、及起源于该收集室(1)而用于集中排出由该等输入管道(2至5)送入该收集室(1)之气体流的排出管道(6)。为了改良OLED沈积装置中温度升高情况下的气体交换，提出以下建议：连接排出管道(6)与收集室(1)的开口(7)可由封闭段(8")透过线性位移或旋转位移而加以封闭，其中，当通风管道(10)之开口(9)封闭时，该开口(7)打开。设有单独一个封闭件，此封闭件可在执行机构控制下，在运行位置与通风位置之间来回切换。 |
