激光加工装置及激光加工方法

摘要

提高改质点的控制性。激光加工装置(100)，具备：将第1脉冲激光(L1)射出的第1激光光源(101)、将第2脉冲激光(L2)射出的第2激光光源(102)、将脉冲激光(L1、L2)的偏振方向分别变化的1/2波长板(104、105)、将偏振方向已变化的脉冲激光(L1、L2)分别进行偏振光分离的偏振光光束分光器(106、107)、及将进行了偏振光分离的脉冲激光(L1、L2)聚光于加工对象物(1)的聚光透镜(112)。在激光加工装置(100)中，通过光强度控制部(121)使在1/2波长板(104、105)变化的脉冲激光(L1、L2)的偏振方向可变的话，由偏振光光束分光器(106、107)进行偏振光分离的脉冲激光(L1、L2)的比率就可变，其结果，脉冲激光(L1、L2)的各强度被调整。

主权项

一种激光加工装置，其特征在于，是将多个脉冲激光聚光于加工对象物，在所述加工对象物的内部沿着切断预定线形成多个改质点，通过多个所述改质点形成改质区域的激光加工装置，具备：第1激光光源，将具有第1波长的第1脉冲激光射出；第2激光光源，将具有与所述第1波长不同的第2波长的第2脉冲激光射出；第一1/2波长板，使所述第1脉冲激光的偏振方向变化；第二1/2波长板，使所述第2脉冲激光的偏振方向变化；偏振光分离单元，将由所述第一1/2波长板改变了偏振方向的所述第1脉冲激光及由所述第二1/2波长板改变了偏振方向的所述第2脉冲激光进行偏振光分离；聚光透镜，使由所述偏振光分离单元进行了偏振光分离的所述第1及第2脉冲激光聚光于所述加工对象物；及光强度控制单元，通过使由所述第一及第二1/2波长板变化的所述第1及第2脉冲激光的偏振方向可变，来控制所述第1及第2脉冲激光的强度，所述第1脉冲激光的波长比所述第2脉冲激光的波长长，所述第2脉冲激光的脉冲宽度比所述第1脉冲激光的脉冲宽度小，所述第1脉冲激光以及所述第2脉冲激光的各脉冲的至少一部分互相重叠。