用于电感耦合等离子体室的旋转闭锁气体喷射器总成的窗和安装装置

摘要

一种用于安装在电感耦合等离子体室的介电窗的中心孔中的改进型气体喷射器总成，所述气体喷射器总成包括窗，所述窗具有中心孔以及被配置为接收具有卡销开口的环形插件的圆柱形凹槽。气体喷射器总成包括气体喷射器、包围所述气体喷射器的射频防护屏以及包围所述射频防护屏的面板，所述面板在其底部包括凸起，用于接合所述环形插件中的卡销开口。所述窗和气体喷射器总成被设计成避免窗产生碎片，所述窗通常是由石英制成的并且在现有的安装装置中，所述窗中有机加工的卡销开口。由于石英材料的易碎性，因此在气体喷射器被插入机加工的卡销开口中时，机加工的卡销开口会产生碎片。

主权项

一种等离子体处理室的介电窗，半导体衬底在所述等离子体处理室中进行等离子体处理并且包括气体喷射器、射频防护屏、面板和环形插件的喷射器总成安装在所述窗中以供应处理气体到所述等离子体处理室中，所述窗包括：具有均匀厚度的盘，所述盘包括：在所述盘的下表面上的下真空密封表面，其被适配成对所述等离子体处理室的上表面进行密封；中心孔，其被配置为接收传输处理气体到所述等离子体处理室的中心的所述气体喷射器；以及所述上表面内的中心凹槽，其包围所述中心孔并且被配置为接收用于在所述窗中安装所述气体喷射器总成的所述环形插件。