一种工件台质量测校方法

摘要

一种工件台质量测校方法，工件台上安装有电机动子，位于工件台下方的平衡质量上安装有电机定子，包括规划工件台的匀速运动轨迹；电机驱动工件台按照规划的匀速运动轨迹做匀速运动，平衡质量受到工件台的作用力做相应的匀速运动，工件台采用闭环控制，平衡质量采用开环控制；根据平衡质量的位移、工件台相对于平衡质量的位移分别计算获得平衡质量的速度v_{bm_rel}、工件台相对于平衡质量的速度v_{ls2bm_rel}；根据工件台相对于平衡质量的速度v_{ls2bm_rel}计算获得电机的磁铁扰动力频率f_cog；根据磁铁扰动力频率f_cog和平衡质量的质量m_{bm_rel}计算获得工件台和平衡质量的质量比κ和工件台的质量m_ls。本方法简单实用、不需要特别设计算法，便于在线测试。

主权项

一种工件台质量测校方法，其特征在于，所述工件台上安装有电机动子，位于所述工件台下方的平衡质量上安装有电机定子，包括以下步骤：步骤1，规划所述工件台的匀速运动轨迹；步骤2，所述电机驱动所述工件台按照规划的匀速运动轨迹做匀速运动，所述平衡质量受到所述工件台的作用力做相应的匀速运动，所述工件台采用闭环控制，所述平衡质量采用开环控制；步骤3，根据所述平衡质量的位移、工件台相对于平衡质量的位移分别计算获得所述平衡质量的速度v_{bm_rel}、工件台相对于平衡质量的速度v_{ls2bm_rel}；步骤4，根据工件台相对于平衡质量的速度v_{ls2bm_rel}计算获得所述电机的磁铁扰动力频率f_cog，对硅片台或者平衡质量匀速运动的速度进行频域识别，得到对应速度下的磁铁扰动力频率f_cog，所述对应速度下的磁铁扰动力频率f_cog为一组数据，记为G1；步骤5，重新规划所述工件台的匀速运动轨迹，重复所述步骤1至所述步骤4，得到磁铁扰动力频率f_cog的另一组数据，记为G2；根据公式对两组频率G1和G2进行γ倍率匹配，取其误差最小者作为两种速度下的磁铁扰动力频率值f_cog，其中f_cog1和f_cog2、v_bm1和v_bm2、v_ls2bm1和v_ls2bm12分别为两组频率G1和G2对应的磁铁扰动力频率、平衡质量的速度、工件台相对平衡质量的速度；步骤6，根据两组频率G1和G2对应的磁铁扰动力频率f_cog和所述平衡质量的质量m_{bm_rel}计算获得所述工件台和所述平衡质量的质量比κ和所述工件台的质量m_ls。