Mikromechanisches Bauelement mit monolithisch integrierter Schaltung und Verfahren zur Herstellung eines Bauelements

摘要

Es wird ein mikromechanisches Bauelement sowie ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Bauelements vorgeschlagen, wobei das Bauelement eine mikromechanische Struktur und eine integrierte Schaltung aufweist, wobei die mikromechanische Struktur monolithisch mit der Schaltung integriert vorgesehen ist, wobei die Schaltung in einem Schaltungsbereich des Substrats und die mikromechanische Struktur in einem Sensorbereich des Substrats vorgesehen ist, wobei das Material des Substrats übergangslos sowohl im Bereich einer Opferschicht als auch im Bereich einer Funktionsschicht vorgesehen ist.