发明名称 HYBRID INVARIANT ADAPTIVE AUTOMATIC DEFECT CLASSIFICATION
摘要
申请公布号 KR100824217(B1) 申请公布日期 2008.04.24
申请号 KR20000032953 申请日期 2000.06.15
申请人 发明人
分类号 G01B11/30;G01N21/88;G01N21/956;G06K9/66;G06K9/68;G06T7/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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