| 发明名称 |
Träger für zu bearbeitende, aufzubewahrende und/oder zu transportierende Halbleiterwafer |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19924182(B4) |
申请公布日期 |
2008.04.17 |
| 申请号 |
DE19991024182 |
申请日期 |
1999.05.27 |
| 申请人 |
ENTEGRIS INC. |
发明人 |
BHATT, SANJIV M.;EGGUM, SHAWN D. |
| 分类号 |
B65D85/90;B29C45/14;B29C45/16;B29K69/00;B29K73/00;B29K79/00;G03F7/20;H01L21/673;H01L21/68 |
主分类号 |
B65D85/90 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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