| 发明名称 |
Verfahren und System zum Erkennen der Qualität einer alternierenden Phasenschiebermaske |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE102004022595(B4) |
申请公布日期 |
2008.04.17 |
| 申请号 |
DE200410022595 |
申请日期 |
2004.05.07 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
BUTT, SHAHID;ZAIDI, SHOAIB HASAN |
| 分类号 |
G01M11/02;G01N21/41;G01N21/47;G01N21/956 |
主分类号 |
G01M11/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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