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发明名称 SILICON WAFER, METHOD FOR PRODUCING SILICON WAFER AND METHOD FOR GROWING SILICON SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 KR100822249(B1) 申请公布日期 2008.04.17
申请号 KR20060044933 申请日期 2006.05.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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