极低成本的表面发射激光二极管阵列

摘要

单个半导体管芯上的半导体激光器阵列。所述管芯包括多个光学耦合到反射表面的激光器条。所述激光器条产生多个激光束，所述激光束在基本平行于所述管芯的上表面的方向上传播。所述反射表面使所述激光束改道以在基本垂直于上表面的方向上发射。备选地，所述反射表面可以使所述激光束改道以从管芯的底表面发射。所述反射表面可以通过蚀刻邻近取向的III－V族半导体管芯使得所述反射表面沿着所述管芯的(111)A晶面延伸而形成。

主权项

1.一种半导体激光器阵列，包括：半导体管芯，该管芯包括：多个激光器条；以及反射表面，该反射表面与所述激光器条光学耦合并沿着所述半导体管芯的(111)A晶面布置。