发明名称 LAYER GROWTH USING METAL FILM AND/OR ISLANDS
摘要
申请公布号 EP1911072(A2) 申请公布日期 2008.04.16
申请号 EP20060785148 申请日期 2006.06.20
申请人 SENSOR ELECTRONIC TECHNOLOGY INC. 发明人 GASKA, REMIGIJUS;ZHANG, JIANGPING;SHUR, MICHAEL
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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