光学镀膜膜厚监测自动控制系统及监控方法

摘要

本发明涉及一种光学镀膜膜厚监测自动控制系统，投光装置直接与镀膜机的光入射口连接或与分光器、反射镜箱连接用于将投光装置发出的光投射进镀膜机，镀膜机的光出射口连接一光传输部件与分光器的光入射口连接，分光器的光出射口再与光电信号转换装置的光入射口连接，或者镀膜机的出射光线通过反射镜箱将光反射入光电信号转换装置，光电信号转换装置的电信号输出端通过信号处理单元与计算机相连接。本发明还涉及一种膜厚监测自动控制方法。本发明提高了膜厚监测的稳定性和准确度，满足了高精度镀膜的要求。

主权项

1.一种光学镀膜膜厚监测自动控制系统，其特征在于，它包括投光装置、分光器、光电信号转换装置、信号处理单元和计算机，投光装置直接与镀膜机的光入射口连接或与分光器、反射镜箱连接用于将投光装置发出的光投射进镀膜机，镀膜机的光出射口连接一光传输部件与分光器的光入射口连接，分光器的光出射口再与光电信号转换装置的光入射口连接，或者镀膜机的出射光线通过反射镜箱将光反射入光电信号转换装置，光电信号转换装置的电信号输出端通过信号处理单元与计算机相连接。