2－3英寸砷化镓定向划线尺

摘要

本实用新型公开了一种2－3英寸砷化镓定向划线尺，在透明材料平板上刻有同心的Φ2英寸圆弧线和Φ3英寸圆弧线，用于对准2英寸或3英寸砷化镓单晶锭的外圆；在两条同心圆弧线的一条直径上刻有一条槽，并在该直径两边位置两端各刻有与其平行的条形槽，这两组三条槽一起组成主参考面划线槽，用于确定砷化镓单晶锭的镓面；在与主参考面划线槽垂直的直径线上刻有另一条槽，为次参考面划线槽，用于确定砷化镓单晶锭的砷面；在次参考面划线槽分割的其中一个半圆内，划有与其平行的一组平行线，用于保证砷化镓样片上的信息移植到砷化镓单晶锭上的准确性。本实用新型能够把砷化镓微观的晶格结构反映到宏观层面上，确保了产品质量，提高了生产效率。

主权项

1.一种2-3英寸砷化镓定向划线尺，由透明材料制成，其特征在于，在所述透明材料平板上刻有同心的Φ2英寸圆弧线和Φ3英寸圆弧线，该两条圆弧线分别用于对准2英寸或3英寸砷化镓单晶锭的外圆；在两条同心圆弧线的一条直径上刻有一条槽，并在该直径两边位置两端各刻有与其平行的条形槽，这两组三条槽一起组成主参考面划线槽，该主参考面划线槽用于确定砷化镓单晶锭的镓面；在与主参考面划线槽垂直的直径线上刻有另一条槽，为次参考面划线槽，该次参考面划线槽用于确定砷化镓单晶锭的砷面；在次参考面划线槽分割的其中一个半圆内，划有与其平行的一组平行线，该组平行线用于保证砷化镓样片上的信息移植到砷化镓单晶锭上的准确性。