电热驱动的珐珀光调制器

摘要

一种用于显示的电热驱动型珐珀光调制器，该结构至少包含：电热驱动部件、可动下反射镜和上反射镜。电热驱动部件是由两种热膨胀系数相差比较大的材料构成的多层梁。上下反射镜之间的初始位置为kλ/2(λ为入射波长，k为整数)，当入射光被调制器发射后其反射光强为零，调制器为暗态。当激励电流流过电热驱动部件的时候，由于热阻效应，两种材料分别发生膨胀，膨胀系数不同而产生的应力使得电热驱动部件发生形变，引起下反射镜向上运动，上下反射镜之间的距离变为(2k－1)λ/4，经调制器反射后的光强取得最大值，调制器为亮态。当电流撤销之后，电热驱动部件恢复到原始状态，两个反射镜之间的距离也随之恢复到初始的状态，调制器又变为暗态。利用该原理使调制器实现显示的功能。

主权项

1.一种电热驱动的珐珀光调制器，其特征在于它包括：a.硅基底；b.位于硅基底上的电热驱动部件，电热驱动部件至少三层材料制成，中间为作为绝缘层，上、下两层分别为热膨胀系数不同的导电层；c.位于电热驱动部件之上的支撑锚；d.被连接支撑在支撑锚上的可动下反射镜；e.通过键合的方法悬置固定在硅基底上的透明玻璃基板；f.附着在玻璃基板下表面并与可动下反射镜相对的上反射镜，上反射镜和下反射镜被空气层隔开，形成珐珀腔。