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发明名称 METHOD OF PRODUCTION OF A FILM
摘要
申请公布号 EP1911085(A2) 申请公布日期 2008.04.16
申请号 EP20060809161 申请日期 2006.07.06
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 AULNETTE, CECILE;CAYREFOURCQ, IAN;MAZURE, CARLOS
分类号 H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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