| 发明名称 | 电导率传感器及其制造方法 | ||
| 摘要 | 一种接触型电导率传感器(40，68)包括设置在基片(20，50)的远端表面(24，54)上的多个电极(30，66)。基片(20)包括多个通孔(22，52)，通过该多个通孔(22，52)实现与电极(30，66)的电互连。电导率传感器(40，68)可采用两个或四个电极(30，66)，并且可具有设置在远端表面(24，54)上的温度检测元件(80)。电极(30，66)可图案化或否则使用半导体处理技术的沉积化。 | ||
| 申请公布号 | CN101147056A | 申请公布日期 | 2008.03.19 |
| 申请号 | CN200680009612.0 | 申请日期 | 2006.03.31 |
| 申请人 | 罗斯蒙德分析公司 | 发明人 | 冯昌东 |
| 分类号 | G01N27/07(2006.01) | 主分类号 | G01N27/07(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 王新华 |
| 主权项 | 1.一种流体电导率传感器，包括：无机基片，其具有远端的、流体接触表面和近处表面，基片限定从远端表面延伸到流体接触表面的多个通孔，其中每个通孔包含从远端表面延伸到近处表面的金属；多个电极，其设置在远端表面上；和多个电互连，其延伸超过近处表面，其中每个电互连通过相应的通孔电连接到电极。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||