| 发明名称 | 多孔质膜的前体组合物及其制备方法、多孔质膜及其制作方法以及半导体装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种多孔质膜的前体组合物，所述多孔质膜的前体组合物包含：选自式Si(OR<SUP>1</SUP>)<SUB>4</SUB>及R<SUB>a</SUB>(Si)(OR<SUP>2</SUP>)<SUB>4－a</SUB>(式中，R<SUP>1</SUP>表示1价的有机基团，R表示氢原子、氟原子或1价的有机基团，R<SUP>2</SUP>表示1价的有机基团，a是1～3的整数，R、R<SUP>1</SUP>及R<SUP>2</SUP>可以相同或不同)表示的化合物中的至少1种化合物、在250℃以上显示热分解的热分解性有机化合物、具有催化作用的元素和有机溶剂。使用该前体组合物的溶液，使其与疏水性化合物进行气相聚合反应，制作具有低介电常数、低折射率、高机械强度的疏水性多孔质膜。使用有该多孔质膜的半导体装置。 | ||
| 申请公布号 | CN101146874A | 申请公布日期 | 2008.03.19 |
| 申请号 | CN200680009348.0 | 申请日期 | 2006.03.17 |
| 申请人 | 株式会社爱发科;独立行政法人产业技术综合研究所;三井化学株式会社 | 发明人 | 藤井宣年;中山高博;金山敏彦;高村一夫;田中博文 |
| 分类号 | C09D7/12(2006.01);C09D183/00(2006.01);H01L21/316(2006.01) | 主分类号 | C09D7/12(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 陈昕 |
| 主权项 | 1.一种多孔质膜的前体组合物，其特征在于，包含：选自下述通式(1)表示的化合物(A)及下述通式(2)表示的化合物(B)中的至少1种化合物、在250℃以上显示热分解的热分解性有机化合物(C)和选自电负度为2.5以下的两性元素、离子半径为1.6以上的元素及原子量为130以上的元素中的至少1种元素(D)；Si(OR1)4 (1)Ra(Si)(OR2)4-a (2)上述式(1)及(2)中，R1表示1价的有机基团，R表示氢原子、氟原子或1价的有机基团，R2表示1价的有机基团，a是1～3的整数，R、R1及R2可以相同或不同。 | ||
| 地址 | 日本神奈川 | ||