发明名称 |
带有感光性树脂的层压板 |
摘要 |
本发明提供一种抗蚀图案形成性、导体图案形成性、保存稳定性优良的带有感光性树脂的层压板。一种长带状的带有感光性树脂的层压板,该带有感光性树脂的层压板是通过在绝缘性树脂层的一面或两面上层叠导体箔而成的长带状结构体的至少一面的导体箔上层叠厚度为1μm以上20μm以下的由感光性树脂组成的层而制成的,其特征在于,该感光性树脂含有(a)热塑性共聚物,其羧基含量以酸当量计为100以上600以下、且重均分子量为2万以上50万以下,(b)可光聚合的不饱和化合物,(c)光聚合引发剂和特定化合物。 |
申请公布号 |
CN101144981A |
申请公布日期 |
2008.03.19 |
申请号 |
CN200610126961.2 |
申请日期 |
2006.09.11 |
申请人 |
旭化成电子材料元件株式会社 |
发明人 |
井上直人 |
分类号 |
G03F7/09(2006.01);H01L21/48(2006.01);H01L21/60(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/09(2006.01) |
代理机构 |
北京林达刘知识产权代理事务所 |
代理人 |
刘新宇 |
主权项 |
1.一种带有感光性树脂的层压板,其特征在于,该带有感光性树脂的层压板是通过在绝缘性树脂层的一面或两面上层叠导体箔而成的结构体的至少一面的导体箔上层叠厚度为1μm以上20μm以下的由感光性树脂组成的层而制成的,该感光性树脂含有(a)20重量份以上90重量份以下的热塑性共聚物,其羧基含量以酸当量计为100以上600以下、且重均分子量为2万以上50万以下,(b)3重量份以上70重量份以下的可光聚合的不饱和化合物,(c)0.1重量份以上20重量份以下的光聚合引发剂,以及(d)0.01重量份以上5重量份以下的下述通式(I)表示的化合物,<img file="A2006101269610002C1.GIF" wi="886" he="388" />通式(I)中,R<sub>1</sub>、R<sub>2</sub>、R<sub>3</sub>和R<sub>4</sub>分别独立地是选自氢、烷基和羧基组成的组中的任意一种原子或基团;R<sub>5</sub>是氢或烷基或下述通式(II)表示的基团,<img file="A2006101269610002C2.GIF" wi="877" he="210" />通式(II)中,R<sub>6</sub>和R<sub>7</sub>是氢或烷基或羟烷基,它们各自可以相同或不同,n<sub>1</sub>是1以上4以下的整数。 |
地址 |
日本东京都新宿区西新宿一丁目23番7号 |