半导体芯片退火炉

摘要

本实用新型提供一种有气体保护功能的，具有快速退火功能的半导体芯片管式退火炉。外壁缠绕电阻丝、两端开口的刚玉管穿过加热炉炉体；气源与刚玉管一端相通；宽度略小于刚玉管的内径的石英样品架设置在刚玉管内；连动钢丝一端与石英样品架相连，另一端自刚玉管一端伸出；设置在石英样品架处的传感器与温度显示器相连；设置在炉膛内壁与刚玉管外壁之间的温度传感器接温度控制仪，温度控制仪的输出接固态继电器，固态继电器串联在电阻丝的供电电路中。本实用新型的样品退火温度可设定为室温至1200摄氏度；样品的退火温度可稳定在设定退火温度的正负一摄氏度以内。

主权项

1.半导体芯片退火炉，包括加热炉炉体、温控电路、气体保护部件、石英样品架、样品温度显示组件；其特征是：外壁缠绕电阻丝的、两端开口的刚玉管穿过加热炉炉体的炉膛；电阻丝与供电电路串联；气体保护部件中的气源与刚玉管一端相通；石英样品架设置在刚玉管内；石英样品架的宽度小于刚玉管的内径；连动钢丝一端与石英样品架相连，另一端自刚玉管一端伸出；样品温度显示组件包括设置在石英样品架处的传感器以及与传感器输出端相连的温度显示器；温控电路包括设置在刚玉管内的温度传感器，与温度传感器的输出相连的温度控制仪，与温度控制仪的输出相连的固态继电器，固态继电器串联在电阻丝的供电电路中。