发明名称 薄膜厚度的测量方法和设备
摘要 运动的卷筒材料或片的非接触式厚度或纸的厚度测量技术采用包括第1传感器头和第2传感器头的传感器装置,两传感器头互相分离以便限定运动的卷筒材料通过的路径。传感器装置将激光产生的多点图案投射到运动卷筒材料的上表面上。图案的图案识别算法分析确定运动卷筒材料的取向、如倾斜度。该装置还测定薄膜的倾斜度、在第1传感器头和第1卷筒材料表面之间的距离、在第2传感器头和第2卷筒材料表面之间的距离和两个传感器头之间的距离以便提供高精度的运动卷筒材料在线厚度测量。
申请公布号 CN101120230A 申请公布日期 2008.02.06
申请号 CN200580048299.7 申请日期 2005.12.19
申请人 霍尼韦尔国际公司 发明人 T·W·贾辛斯基;F·M·哈兰
分类号 G01B11/06(2006.01) 主分类号 G01B11/06(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 崔幼平;刘华联
主权项 1.一种系统,用于测量有第1表面(26)和第2表面(28)的卷筒材料厚度,它包括:(a)设置在卷筒材料(18)第1表面(26)附近的第1传感器头(10),其中第1传感器头(10)包括(i)投射图案(13)到卷筒材料(18)第一表面(26)上的机构和(ii)检测所投射图案的图像(14)和将该图像(14)转换成与电子图像(16)相对应的电信号的机构;(b)分析该电子图像(50)以便测定第1传感器头(10)与卷筒材料(18)第1表面(26)上所选位置之间距离的机构;(c)设置在卷筒材料(18)第2表面(28)附近的第2传感器头(20),其中第2传感器头(20)包括测量从第2传感器头(20)到第2表面(28)上所选位置之间距离(32C)的机构;(d)测量从第1传感器头(10)到第2传感器头(20)的距离(30)的机构;(e)测量卷筒材料(18)倾斜角(50)的机构;(f)测量第1和第2传感器头(10、20)相对不对准度(16、32C)的机构;和(g)计算卷筒材料(18)厚度(50)的机构。
地址 美国新泽西州