| 摘要 |
In einem Dicingverfahren wird ein Dicing auf eine solche Weise durchgeführt, dass ein Vorrichtungssubstrat, auf dem zwei oder mehr Vorrichtungen und Ausrichtmarkierungen zum Positionieren ausgebildet sind, gemäß der Ausrichtmarkierung positioniert werden. Das Dicingverfahren enthält: einen Substratfixierungsschritt mit Fixieren des Vorrichtungssubstrats auf einem fixierten Stand in einem Zustand, bei dem das Vorrichtungssubstrat mit Koagulationsmittel bedeckt und das Koagulationsmittel koaguliert ist; einen Positionierschritt mit Durchführen eines Positionierens auf Grundlage der Ausrichtmarkierung auf eine solche Weise, dass eine Teilfläche, in der die Ausrichtmarkierung auf dem Vorrichtungssubstrat ausgebildet ist, das auf dem fixierten Stand fixiert ist, örtlich erwärmt wird, um das Koagulationsmittel bei der Teilfläche zu schmelzen, so dass die Ausrichtmarkierung durch das geschmolzene Koagulationsmittel beobachtet wird; und einen Dicingschritt mit Dicing des Vorrichtungssubstrats und Vereinzeln des Vorrichtungssubstrats in die individuellen Vorrichtungselemente. |
