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发明名称
Lithographischer Apparat
摘要
申请公布号
DE60131203(D1)
申请公布日期
2007.12.13
申请号
DE20016031203
申请日期
2001.08.23
申请人
ASML NETHERLANDS B.V.
发明人
VAN DER WERF, JAN EVERT;KROON, MARK;KEUR, WILHELMUS CORNELIUS;BANINE, VADIM YEVGENYEVICH;VAN DER LAAN, HANS;MOORS, JOHANNES HUBERTUS JOSEPHINA;LOOPSTRA, ERIK ROELOF
分类号
G03F7/20;G21K5/00;G01T1/20;G01T1/28;G21K5/02;H01L21/027
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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