发明名称 柔性电子电路制品及其制造方法
摘要 本发明包括电子电路制品(10),其具有基板(12)、设置在基板上的等离子体淀积层(18),其中等离子体淀积层包括至少约10.0原子百分比的硅,以及设置在等离子体淀积层上方的已构图导电层(22)。
申请公布号 CN101088156A 申请公布日期 2007.12.12
申请号 CN200580044575.2 申请日期 2005.11.17
申请人 3M创新有限公司 发明人 莫塞斯·M·大卫;凯瑟琳·B·莎伊;巴德理·维尔拉哈万;山崎英男;詹姆斯·R·舍克
分类号 H01L21/768(2006.01);H01L23/538(2006.01);H05K3/38(2006.01);H05K3/28(2006.01) 主分类号 H01L21/768(2006.01)
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人 黄启行;穆德骏
主权项 1.一种电子电路制品,包括:基板;设置在基板上的等离子体淀积层,其中等离子体淀积层包括至少约10.0原子百分比的硅;以及设置在等离子体淀积层上方的已构图导电层。
地址 美国明尼苏达州
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