Interface component for introducing an ion beam into a vacuum system,申请号GB20060020256-传众专利搜索

发明名称	Interface component for introducing an ion beam into a vacuum system
摘要
申请公布号	GB2438894(A)	申请公布日期	2007.12.12
申请号	GB20060020256	申请日期	2006.10.12
申请人	MICROSAIC SYSTEMS LIMITED	发明人	RICHARD SYMS;RICHARD WILLIAM MOSELEY
分类号	H01J49/04	主分类号	H01J49/04
代理机构		代理人
主权项
地址