用于微型面镜装置的撑柱

摘要

一个改良的微行面镜装置用的撑柱由导电掺杂半导体组成，并且在常温和极端温度下不受塑胶变形的影响。该撑柱是直接连接到微行面镜装置上，并使光学平面微镜的制作更容易。这就消除了由于微镜反射表面上凹坑所引起的夫琅和费衍射。此外，该撑柱避开了入射光照射从而改善了对比度和占空因数。

主权项

1.一个微行面镜装置用的撑柱包含一掺杂半导体，其中所述撑柱不被入射光照射并且是从一组包含悬臂支架撑柱，垂直悬臂支架撑柱，扭转撑柱和复合扭转垂直悬臂支架撑柱中选取的一个类型。