照明方法和曝光方法及其装置

摘要

一种曝光装置，特征在于包括照明光学系统和投影光学系统，该照明光学系统具有：把分开的多个光源以一维或二维排列的光源阵列；使从该光源阵列的各光源射出的光聚光的聚光光学系统；在空间上分解由该聚光光学系统聚光的光来生成多个疑似二次光源的、由棒状透镜的排列构成且各棒状透镜的垂直于光轴的剖面形状的纵横比r₁与上述被照明区域的纵横比r₀之比r₁/r₀为大于或等于0.8且小于或等于1.2的光学积分器；以及使来自利用该光学积分器生成的多个疑似二次光源的光叠加在一起来照明具有应该曝光的图形的被照明区域的聚光透镜：该投影光学系统把透射或反射了由该照明光学系统照明的应该曝光的图形的光投影、曝光到被曝光物上的被曝光区上。

主权项

1.一种照明方法，使光从一维或二维排列的多个半导体激光器光源中分别射出，利用光学积分器在空间上分解从该多个光源分别射出的光来生成多个虚拟二次光源，利用聚光透镜使来自该生成的多个虚拟二次光源的光叠加在一起来照明被照明区域，所述照明方法的特征在于：把从上述多个光源分别射出的光束中的发散角调整为：向着垂直于该射出光束的光轴的面，对面内任意的两个方向为1比1.5以内。