| 发明名称 | 基片处理装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种基片处理装置，该基片处理装置包括：基片处理室、用于在基片处理室内承托基片的基片承托架、对基片承托架所承托的基片进行处理的基片处理器，其中该基片处理装置进一步包括用于传动基片处理器的处理器传动装置。通过采用上述结构，使得基片处理器能够以移动扫描的方式对静止的基片进行处理，使基片处理室的长度减小，节约制造成本，并通过往复扫描方式提高了基片的处理效果，结构简单实用，可控性强。 | ||
| 申请公布号 | CN200981893Y | 申请公布日期 | 2007.11.28 |
| 申请号 | CN200620017972.2 | 申请日期 | 2006.08.28 |
| 申请人 | 深圳豪威真空光电子股份有限公司 | 发明人 | 许生;徐升东;庄炳河 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01);H01L21/68(2006.01) | 主分类号 | C23C14/50(2006.01) |
| 代理机构 | 广东国晖律师事务所 | 代理人 | 徐文涛 |
| 主权项 | 权利要求书1.一种基片处理装置，所述基片处理装置包括：基片处理室、用于在所述基片处理室内承托基片的基片承托架、对所述基片承托架所承托的基片进行处理的基片处理器，其特征在于：所述基片处理装置进一步包括用于传动所述基片处理器的处理器传动装置。 | ||
| 地址 | 518000广东省深圳市南山区深南大道市高新技术工业村W1A区一楼 | ||