发明名称 MEASURING ARRANGEMENT AND METHOD FOR THE OPTICAL MONITORING OF COATING PROCESSES
摘要
申请公布号 EP1859228(A1) 申请公布日期 2007.11.28
申请号 EP20060707214 申请日期 2006.02.23
申请人 LEYBOLD OPTICS GMBH 发明人 ZOELLER, ALFONS;HAGEDORN, HARRO;KLUG, WERNER
分类号 G01B11/06;C23C14/54 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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