| 发明名称 |
Apparatus and method for retaining mirror, and mirror exchange method |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1406107(B1) |
申请公布日期 |
2007.11.28 |
| 申请号 |
EP20030020613 |
申请日期 |
2003.09.10 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
MIYACHI, TAKESHI;MIYAKE, AKIRA |
| 分类号 |
G02B7/00;G02B7/182;G02B7/18;G02B17/06;G03F7/20;H01L21/027 |
主分类号 |
G02B7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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