PLASMA PROCESSING APPARATUS AND METHOD,申请号KR20057016513-传众专利搜索

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发明名称	PLASMA PROCESSING APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号	KR100779814(B1)	申请公布日期	2007.11.28
申请号	KR20057016513	申请日期	2005.09.05
申请人		发明人
分类号	H01L21/3065;H05H1/24;B01J19/08;C23C16/509;H01J37/32	主分类号	H01L21/3065
代理机构		代理人
主权项
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