发明名称 应变传感器及其制造方法
摘要 本发明提供一种具有基板、层积在基板上的微晶玻璃、以及层积在微晶玻璃上的应变传感器,并且微晶玻璃是将具有互不相同的热机械常数的多种微晶玻璃粉焙烧而形成的。这样,可以减少传感器特性上的变动且可降低成本。
申请公布号 CN101080619A 申请公布日期 2007.11.28
申请号 CN200580042989.1 申请日期 2005.12.20
申请人 松下电器产业株式会社 发明人 中尾惠一;水上行雄;石田裕昭;油田康一
分类号 G01L1/22(2006.01) 主分类号 G01L1/22(2006.01)
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 汪惠民
主权项 1.一种应变传感器,包括:基板;层积在所述基板上的微晶玻璃;以及层积在所述微晶玻璃上的应变感应电阻器;且其中,所述微晶玻璃是将具有互不相同的热机械常数的多种微晶玻璃粉焙烧而形成的复合微晶玻璃。
地址 日本大阪府
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