发明名称 | 具有标线器平台安全结构的方法及其装置 | ||
摘要 | 本发明揭示一种具有一平台标线器安全结构的装置及方法。该装置包含一标线器平台及一光学平台。该标线器平台支撑一标线器且能够在x-y-z方向中移动该标线器。该光学平台包含:多数个组件,其用以将自该标线器所反射之光引导至一晶圆基板上;及一安全结构,其用以移动该光学平台之一或多个组件离开该标线器平台。 | ||
申请公布号 | CN101080668A | 申请公布日期 | 2007.11.28 |
申请号 | CN200580028234.6 | 申请日期 | 2005.10.07 |
申请人 | 株式会社尼康 | 发明人 | 菲力普斯·阿尔汤·修 |
分类号 | G03B27/58(2006.01) | 主分类号 | G03B27/58(2006.01) |
代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 左一平 |
主权项 | 1.一种光微影装置,其特征在于,包括:一标线器平台,其用以支撑一标线器并能够在x-y-z方向中移动所述标线器;以及一光学平台,其包含:多数个组件,其用以将自所述标线器反射的光引导至一晶圆基板上;及一安全结构,其用以移动所述光学平台的一或多个组件离开所述标线器平台。 | ||
地址 | 日本东京 |