基板处理装置

摘要

一种基板处理装置，在具有将基板从水平运送装置转装到基板旋转处理单元的机构的装置中，不用担心产生灰尘，即使进行湿法处理也不会发生不适状况，结构简单，占有空间也相对较小。其具有基板旋转处理单元(10)及辊式输送机(16)，包括：配置成与辊式输送机运送路径终端部相对向、使支撑基板(W)的自由辊(28)的基板支撑面与辊式输送机的基板运送面处于相同高度的运送板(20)；使基板从辊式输送机运送路径终端部向运送板上水平移动的转装臂部(32)；将支撑基板的运送板从基板交接位置(A)向基板旋转处理单元的旋转保持圆板(12)上移动的支撑及移动机构，旋转保持圆板具有运送板的装载面及保持基板的支撑销(44、46)。

主权项

权利要求书1.一种基板处理装置，具备基板旋转处理单元，该基板旋转处理单元具有以铅垂轴为中心而自由旋转地被支撑着的、将基板保持为水平状态的旋转保持构件，并使基板旋转而通过处理液进行处理，其特征在于，包括：辊式输送机，其由互相平行排列的多个运送辊构成，支撑基板并将基板向水平方向直线运送；可动支撑构件，其具有将基板支撑为水平状态的支撑部，并以与前述辊式输送机的运送路径终端部相对向的方式，并以前述支撑部的基板支撑面与辊式输送机的基板运送面成为相同高度的方式而被配置；转装装置，其使基板从前述辊式输送机的运送路径终端部向前述可动支撑构件上水平移动；移动装置，其能够与前述可动支撑构件卡合或脱离，在与支撑着基板的前述可动支撑构件卡合的状态下，使该可动支撑构件从与前述辊式输送机的运送路径终端部相对向的位置向前述基板旋转处理单元的旋转保持构件上移动，前述旋转保持构件具有装载前述可动支撑构件的装载面、以及从装载在该装载面上的前述可动支撑构件向上方离开而保持基板的基板保持部，保持从前述移动装置分离后的前述可动支撑构件装载在前述装载面上的状态不变，将基板保持在前述基板保持部上而进行旋转。